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Breve introduzione agli obiettivi di sputtering di zirconio

Breve introduzione agli obiettivi di sputtering di zirconio


Lo zirconio (Zr) è un metallo argentato con una densità di 6,52 g/cm3. Zr ha una sezione trasversale di assorbimento dei neutroni molto piccola e un punto di fusione relativamente alto (1855 gradi o 3371 gradi F), che lo rendono un materiale eccellente per le barre dell'energia nucleare. La spugna di zirconio e le bacchette di cristallo sono le materie prime per realizzare obiettivi di sputtering. Sebbene la spugna di zirconio sia economica e di bassa purezza, ha un elevato contenuto di ossigeno. Le bacchette di cristallo di zirconio sono più costose e hanno una purezza maggiore, rendendole materiali ideali per gli obiettivi di sputtering.


Sia Zr che Hf possono essere utilizzati nell'industria nucleare. Tuttavia, hanno caratteristiche diverse in termini di cattura dei neutroni. Sebbene abbiano molte proprietà simili, devono essere separati mediante estrazione liquida o distillazione con sale fuso. Offriamo due gradi di target in zirconio ad elevata purezza: afnio basso (250ppm o 0,025%) e afnio elevato.

 

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High Purity Zirconium Sputtering Target for Thin Film Deposition
Target per sputtering in zirconio ad elevata purezza per la deposizione di film sottile

 

 

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