Micro polvere di carburo di silicio
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La micropolvere di carburo di silicio è prodotta dal carburo di silicio mediante apparecchiature di frantumazione. Tuttavia, nel processo di fusione e frantumazione del carburo di silicio, è inevitabile che vengano mescolate varie impurità. Queste impurità avranno un grande impatto sulla qualità dei prodotti lavorati e sulle prestazioni dei dispositivi a semiconduttore fabbricati durante l'uso del silicio polvere di carburo, aumentando il tasso di prodotti difettosi e riducendo la qualità della lavorazione superficiale dei prodotti lavorati. Pertanto, il problema della rimozione delle impurità nella polvere di carburo di silicio deve essere risolto.
Le impurità della polvere di carburo di silicio includono principalmente carbonio, ossido ferrico, ossido di alluminio, ossido di calcio, ossido di magnesio e biossido di silicio. Quando queste sostanze vengono utilizzate per scopi diversi nella polvere di carburo di silicio, hanno effetti diversi, tra cui Fe2O3 è il principale. Per rimuovere le impurità nella polvere di carburo di silicio, è possibile aggiungere acido per rimuovere le impurità nel processo di produzione. Questo metodo ha un basso costo e un alto tasso di rimozione delle impurità, che è amato dai produttori di polvere di carburo di silicio.
